高真空系列
离子(刻蚀/镀膜/减薄/抛光/截面/剖面)仪、真空转移盒
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基础设备
AL-900 离子减薄仪
AL-1000 离子镀膜仪
AL-2000 离子研磨抛光仪
其他设备(手套箱兼容的设备、真空转移盒)
AL-1600 手套箱离子镀膜仪
AL-2600 手套箱截面抛光仪
AL-VTB1000 真空转移盒